Laserstrahlungsunterstütztes PVD-Verfahren Teilprojekt des BMFT-Verbundes ; Abschlußbericht zum Forschungsvorhaben ; Berichtszeitraum: 01.05.1989 - 30.04.1992

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Technische Hochschule Aachen Lehrstuhl für Lasertechnik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen 1992
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT 13 N 5611 7
Beschreibung:106 Bl
Ill., graph. Darst