Entwicklung integrierter intelligenter Miniatur-Taupunktsensoren hoher Meßgenauigkeit auf der Basis von Technologien der Mikrosystemtechnik [Schlußbericht zum Vorhaben] ; [Berichtszeitraum: 1.9.1990 bis 31.12 1991]
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Erfurt u.a.
MTG mbH, Werk Erfurt u.a.
1992
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT 13I30190. - Enth. vom Vorhaben: Erfolgskontrollbericht; Schlußbericht; Sachbericht zum Abschluß des Vorhabens |
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| Beschreibung: | 8, 24, 46 Bl Ill., graph. Darst |