MicroProcess [selected papers presented at the 5th (4th International) MicroProcess Conference (MPC 92) held at Kanagawa Science Park in Kanagawa from July 13 through July 16, 1992]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Ōyō-Butsuri-Gakkai (BerichterstatterIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn), MicroProcess Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Horiike, Yasuhiro (BerichterstatterIn), Gamo, Kenji (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo JJAP 1992
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics Regular papers, brief communications & review papers 31.1992,12B
Schlagworte:	Konferenzschrift
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