Ortsaufgelöste Untersuchungen von Schichteigenschaften bei ionenstrahlgeschützten Abschneideverfahren mittels teilcheninduzierter Röntgenemission

Heidelberg, Ruprecht-Karls-Univ., Diss., 1994

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Klatt, Christopher (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1994
Schlagworte:
Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:Heidelberg, Ruprecht-Karls-Univ., Diss., 1994
Beschreibung:84 S
Ill., graph. Darst