Abschlußbericht zum Verbundprojekt Entwicklung der Technologie monolithisch integrierter Beschleunigungssensoren auf der Basis von Siliziummikromechanik Berichtszeitraum: 1.7.1985 - 31.12.1989

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn), Robert Bosch GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Riethmüller, W. (BerichterstatterIn), Marek, J. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin ca. 1989 Stuttgart
Schlagworte:	Forschungsbericht
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