"Entwicklung von Technologien für die Herstellung stabiler integrierter Gassensor-Bauelemente auf Siliziumbasis" 1.11.1986 - 31.12.1988 und "Entwicklung von Technologien und Meßmethoden für die Herstellung und Messung stabiler integrierter Palladium- und Platin-Gate-MOS-Gassensor-Bauelemente" 1.1.1989 - 31.12.1991 Abschlußbericht über die F&E-Vorhaben

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Dobos, K. (BerichterstatterIn), Mokwa, W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Duisburg 1991
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT 13 AS 0109/1
Beschreibung:195 Bl
Ill., graph. Darst