"Entwicklung von Technologien für die Herstellung stabiler integrierter Gassensor-Bauelemente auf Siliziumbasis" 1.11.1986 - 31.12.1988 und "Entwicklung von Technologien und Meßmethoden für die Herstellung und Messung stabiler integrierter Palladium- und Platin-Gate-MOS-Gassensor-Bauelemente" 1.1.1989 - 31.12.1991 Abschlußbericht über die F&E-Vorhaben

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dobos, K. (BerichterstatterIn), Mokwa, W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Duisburg 1991
Schlagworte:	Forschungsbericht
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