Entwicklung von Verfahren zur Erzeugung von Leiterbahnen durch laserinduzierte Abscheidung (LCVD) von Metallen Teilprojekt Universität Tübingen ; Schlußbericht zum Forschungsvorhaben ; Laufzeit: 01.04.88-30.06.92
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Tübingen
1992
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT 13AS0094 |
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