Advanced plasma science and its applications for nitride and nanomaterials [peer-reviewed papers based on presentations at the 6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014), held at Nagoya, Japan during March 3 - 6, 2014]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: ISPlasma (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Kamiyama, Satoshi (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo Japan Society of Applied Physics 2014
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics 53,11S : Special issue
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