Optische Emissionsspektroskopie zur Kontrolle und Analyse von Trockenätzprozessen für integrierte Silizium-Schaltkreise

Berlin, Techn. Univ., Diss. : 1993

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Heinrich, Friedhelm (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Repro-Center Koebcke 1993
Ausgabe:	[Mikrofiche-Ausg.]
Schlagworte:	Hochschulschrift
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