Mechanische Relaxationsmessungen an Al-Metallisierungsschichten

Aachen, Techn. Hochsch., Diss

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Prieler, Martin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1993
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Aachen, Techn. Hochsch., Diss
Beschreibung:	Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 2780
Beschreibung:	75 S Ill., graph. Darst 30 cm