Entwicklung und Erprobung einer Maskentechnologie für die verkleinernde Ionenprojektion zur Herstellung von Strukturen im Bereich von 100 nm" Abschlußbericht zum Forschungsvorhaben ; Berichtszeitraum: 1.5.86 - 30.6.91

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Buchmann, L.-M. (BerichterstatterIn), Boseck, B. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin 1991
Schlagworte:	Forschungsbericht
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!