Integrierte Auswerteschaltungen für kapazitive mikromechanische Sensoren Thematische Zuordnung: PRO-CHIP ; Förderkennzeichen: 21131

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Herbst, Dieter (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Unna Ing.-Büro Dr. Ing. Herbst ca. 1993
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT TV 8926 3
Beschreibung:Getr. Zählung
graph. Darst