Microprocesses and Nanotechnology [the 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013) was held ... from November 5th to 8th, 2013, at Royton Sapporo Hokkaido, Japan]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Soc. of Applied Physics
2014
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Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics
53,6S : Special issue |
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Beschreibung: | Getr. Zählung Ill., graph. Darst. |
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