Proceedings of the First International Symposium on Advanced Materials for ULSI [... held in Atlanta...]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	International Symposium on Advanced Materials for ULSI (VerfasserIn), Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Dielectrics and Insulation Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society High Temperature Materials Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Scott, Martin (HerausgeberIn), Akasaka, Yoichi (BerichterstatterIn), Reif, Rafael (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1988
Schriftenreihe:	Proceedings / Electrochemical Society Electronics, dielectrics and insulation, and high temperature materials divisions 88,19
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	[Sponsored by] Electronics, Dielectrics and Insulation, and High Temperature Materials Divisions [of the Electrochemical Society] Includes bibliographies and index
Beschreibung:	VI, 246 S. Ill., graph. Darst.