Plasma processing [papers based on the presentations at the 7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing (ICRP-7/SPP-28), held in Paris, France, on October 4-8, 2010]
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Soc. of Applied Physics
2011
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Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics
50,8,2 : Special issue |
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Beschreibung: | getr. Zählung Ill., graph. Darst. |
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