Plasma processing [papers based on the presentations at the 7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing (ICRP-7/SPP-28), held in Paris, France, on October 4-8, 2010]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: ICRP (BerichterstatterIn), SPP (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Toyoda, Hirotaka (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo Japan Soc. of Applied Physics 2011
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics 50,8,2 : Special issue
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Beschreibung
Beschreibung:getr. Zählung
Ill., graph. Darst.