Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Festigkeit dünner Siliziumsubstrate

Zugl.: Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 2010

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schönfelder, Stephan (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Halle (Saale) Fraunhofer-Institutfür Werkstoffmechanik IWM 2010
Schriftenreihe:Wissenschaftlicher Bericht / Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik W 2010,5
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 2010
Beschreibung:VI, 152 S.
Ill., graph. Darst.