Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Festigkeit dünner Siliziumsubstrate
Zugl.: Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 2010
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1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Halle (Saale)
Fraunhofer-Institutfür Werkstoffmechanik IWM
2010
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Schriftenreihe: | Wissenschaftlicher Bericht / Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik
W 2010,5 |
Schlagworte: | |
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Zusammenfassung: | Zugl.: Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 2010 |
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Beschreibung: | VI, 152 S. Ill., graph. Darst. |