Microprocesses & nanotechnology [the 22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2009) was held in Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan last November 16 to 19, 2009]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Meguro, Takashi (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo Japan Society of Applied Physics 2010
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics 49,6,2 : Special issue
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung
Ill., graph. Darst.