Mikro-Nano-Integration Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	HA Hessen-Agentur (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Greiner, Felix (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Wiesbaden Hessisches Ministerium für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung 2009
Schriftenreihe:	Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech 13
Schlagworte:	Forschungsbericht
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