A R.F. ion beam source and direct ion beam deposition of large surface area thin copper films on polycrystalline glass, AI 2 O 3 and ZrO 2 substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Khan, H. R. Herstellung homogener dünner Hoch-T c-Supraleiter-Schichten durch H.F. Ionen-strahlbeschichtung
1. Verfasser: Khan, H. R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Loebich, O. (VerfasserIn), Raub, Ch. J. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: 1992
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