A R.F. ion beam source and direct ion beam deposition of large surface area thin copper films on polycrystalline glass, AI 2 O 3 and ZrO 2 substrates
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Veröffentlicht in: | Khan, H. R. Herstellung homogener dünner Hoch-T c-Supraleiter-Schichten durch H.F. Ionen-strahlbeschichtung |
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Format: | UnknownFormat |
Veröffentlicht: |
1992
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