Technologie der Herstellung von Halbleiterbauelementen G. Knobloch] ; 5 Kapitel 10

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kurnosov, Anatolij I. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Judin, Vladimir V. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stahnsdorf VEB Halbleiterwerk Frankfurt, Abt. Dokumentation 1966
Schlagworte:
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Beschreibung
Beschreibung:	S. 262 - 299 graph. Darst.