Papers from the 7th AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces 6 - 8 March 2006, Austin, Texas

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: ICMI (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Rogers, Bridget R. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York AVS 2006
Schriftenreihe:Journal of vacuum science and technology / B 24,5
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Beschreibung
Beschreibung:A 12, L 25 S., S. 2191 - 2483
Ill., graph. Darst.