Hochauflösende Röntgenlithographie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2006

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mappes, Timo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Achenbach, Sven (BerichterstatterIn), Mohr, Jürgen (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 2006
Schriftenreihe:	Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft. Wissenschaftliche Berichte FZKA 7215
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht > Röntgenlithografie > LIGA-Verfahren > Polymethylmethacrylate > Nanometerbereich
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!