Hochauflösende Röntgenlithographie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2006

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mappes, Timo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Achenbach, Sven (BerichterstatterIn), Mohr, Jürgen (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 2006
Schriftenreihe:	Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft. Wissenschaftliche Berichte FZKA 7215
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht > Röntgenlithografie > LIGA-Verfahren > Polymethylmethacrylate > Nanometerbereich
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2006
Beschreibung:	Zsfassung in engl. Sprache Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:	IV, 71 S. Ill., graph. Darst.