Proceedings of the Twelfth International Symposium on Chemical Vapor Deposition 1993 [held as part of the Electrochemical Society Meeting in Honolulu, Hawaii, May 1993]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: CVD (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Jensen, Klavs F. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, N.J. The Electrochemical Society 1993
Schriftenreihe:Proceedings / Electrochemical Society High temperature materials, dielectric science and technoloy, and electronics divisions 93,2
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