Proceedings of the Twelfth International Symposium on Chemical Vapor Deposition 1993 [held as part of the Electrochemical Society Meeting in Honolulu, Hawaii, May 1993]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	CVD (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Jensen, Klavs F. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, N.J. The Electrochemical Society 1993
Schriftenreihe:	Proceedings / Electrochemical Society High temperature materials, dielectric science and technoloy, and electronics divisions 93,2
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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