Anwendungen ; Teil 1 : Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen

Anwendungen ; Teil 1 Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Kienel, Gerhard (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Schriftenreihe:Vakuumbeschichtung 4
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