Anwendungen ; Teil 1 Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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Schriftenreihe: | Vakuumbeschichtung
4 |
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Beschreibung: | Literaturverz. S. 344 - 374 |
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Beschreibung: | XI, 383 S. Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 3184013146 3-18-401314-6 |