Plasma processing proceedings of the third Symposium on Plasma Processing

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Dieleman, J. (BerichterstatterIn), Frieser, R. G. (BerichterstatterIn), Mathad, G. S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society c1982
Schriftenreihe:	Proceedings volume / Electrochemical Society 82-6
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Includes bibliographical references and indexes
Beschreibung:	xi, 516 p ill 23 cm