Sensorelemente Q werkstoffwissenschaftliche und technologische Grundlagen des Fügens von gekühlten Mikrosystemen mit Sensoren : Abschlußbericht ; BMFT Förderprojekt ; Projektlaufzeit: 1.9.1990-30.6.1992

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Technische Universität Dresden Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Blasek, Gerhard (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden 1992
Schlagworte:	Forschungsbericht
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