Niedertemperatur-Sputterionenplattieren Abschlußbericht zum Teilvorhaben ; Laufzeit: 01.10.1988-30.09.1991

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Leybold AG (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Hofmann, D. (BerichterstatterIn), Bähr, M. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Hanau 1992
Schlagworte:	Forschungsbericht
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