Entwicklung von PVD-Schichten als Diffusionsbarrieren Schlußbericht zum COST 501/II/WP7A-Projekt

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	RWTH Aachen Institut für Werkstoffkunde (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Knotek, O. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen ca. 1993
Schlagworte:	Forschungsbericht
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