Tungsten and other advanced metals for ULSI applications in 1990 proceedings of the 1990 Workshop held October 22 - 24, 1990, Dallas, Texas, U.S.A.

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	University of California Berkeley Continuing Education in Engineering (BerichterstatterIn), Workshop on Tungsten and Other Advanced Metals for ULSI Applications (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Smith, Gregory C. (HerausgeberIn), Blumenthal, Roc (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1991
Schriftenreihe:	Materials Research Society conference proceedings
Schlagworte:	Konferenzschrift
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