Multilayer and grazing incidence X-ray/EUV optics for astronomy and projection lithography : 19-22 July 1992, San Diego, California

Multilayer and grazing incidence X-ray/EUV optics for astronomy and projection lithography 19-22 July 1992, San Diego, California

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Hoover, Richard B. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 1993
Schriftenreihe:SPIE proceeding series 1742
Schlagworte:
X-ray astronomy > Ultraviolet astronomy > Grazing incidence > Mirrors > Design and construction > Extreme ultraviolet lithography > X-ray lithography > Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:xiii, 702 p
ill
28 cm
ISBN:0819409154
0-8194-0915-4