Rapid thermal and integrated processing II : symposium held April 12 - 15, 1993, San Francisco, California, U.S.A. ; [Symposium G, "Rapid Thermal and Integrated Processing", of the 1993 Spring Meeting of the Materials Research Society]

Rapid thermal and integrated processing II symposium held April 12 - 15, 1993, San Francisco, California, U.S.A. ; [Symposium G, "Rapid Thermal and Integrated Processing", of the 1993 Spring Meeting of the Materials Research Society]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Materials Research Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Gelpey, Jeffrey C. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Soc. 1993
Schriftenreihe:Rapid thermal and integrated processing 2
Schlagworte:
Konferenzschrift > Rapid thermal processing
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Papers presented at Symposium G of the 1993 Spring Meeting of the Materials Research Society
Literaturangaben
Beschreibung:XII, 424 S.
Ill., graph. Darst.
24 cm
ISBN:1558991999
1-55899-199-9