Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik

Tübingen, Univ., Diss., 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Oppermann, Martin (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1993
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Beschreibung
Zusammenfassung:Tübingen, Univ., Diss., 1993
Beschreibung:II, 92 S
Ill., graph. Darst
21 cm