Untersuchungen zur Erzeugung und Steuerung diffuser Hochdruckentladungen Teilprojekt; Abschlußbericht; Contract 13N5404-7 Teil 2 Modellierung von Hochdruckentladungen am Beispiel von KrF[Stern]- und ArF[Stern]-Laserentladungen und experimentelle Überprüfung / Fischer, Thomas u.a. [Mitarb.]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Technische Hochschule Darmstadt Institut für Angewandte Physik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Fischer, Thomas (BerichterstatterIn), Seelig, Wolfgang (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Darmstadt 1990
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