Einkristalline, defektfreie SOI-Schichten auf Silizium-Substraten

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bauser, Elisabeth (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Phillipp, Fritz (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Max-Planck-Institut für Festkörperforschung 1992
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Beschreibung
Beschreibung:	Parallelsacht.: Monokristalline defect-free SOI-layers on silicon substrates. - BMFT NT 27640
Beschreibung:	164 Bl Ill., graph. Darst