Laserinterferometrische absolute Ebenheitsprüfung

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Zentralinstitut für Optik und Spektroskopie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Elßner, K. E. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Zentralinstitut für Optik und Spektroskopie 1991
Schriftenreihe:	Laserforschung
Schlagworte:
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