Entwicklung von wirtschaftlichen Verfahren zur primären und sekundären Ionenimplantation Teilprojekt ; Abschlußbericht ; Laufzeit: 01.10.1988-30.09.1991

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Leybold AG (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Körber, F. J. (BerichterstatterIn), Petersein, H. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Hanau 1991
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