Plasma-CVD-Beschichtung bei tiefen Temperaturen Abschlußbericht

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Crummenauer, J. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Stock, H.-R. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Frankfurt a.M. FKM 1991
Schriftenreihe:	Forschungshefte / Forschungskuratorium Maschinenbau 159
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