Electron beam testing technology

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Thong, John T. L. (BerichterstatterIn), Thong, John T. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. Plenum Press 1993
Schriftenreihe:	Microdevices
Schlagworte:	Semiconductors > Testing > Electron beams > Industrial applications > Scanning electron microscopes > Electrons
Online Zugang:	Publisher description Table of contents only
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