Electron beam testing technology

Electron beam testing technology

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Thong, John T. L. (BerichterstatterIn), Thong, John T. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY u.a. Plenum Press 1993
Schriftenreihe:Microdevices
Schlagworte:
Semiconductors > Testing > Electron beams > Industrial applications > Scanning electron microscopes > Electrons
Online Zugang:Publisher description
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:XVI, 462 S
Ill., graph. Darst
26 cm
ISBN:0306443600
0-306-44360-0