Herstellung dünner epitaxialer Isolatorschichten auf einkristallinen Silicium-Substraten mittels Molekularstrahlepitaxie und deren Charakterisierung

Dresden, Techn. Univ., Diss. : 1992

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Sellam, Farid (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden 1992
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