Metallization theory and practice for VLSI and ULSI

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Murarka, Shyam P. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Boston u.a. Butterworth-Heinemann 1993
Schlagworte:	Engineering (Electrical) > ULSI > VLSI > Metallisieren
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