Magnetfeldgesteuerte Optimierung der Plasmahomogenität bei der Erzeugung von Hartstoffschichten im Hohlkatodenbogenverdampfer
Greifswald, Univ., Diss. A, 1990
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
1990
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