Magnetfeldgesteuerte Optimierung der Plasmahomogenität bei der Erzeugung von Hartstoffschichten im Hohlkatodenbogenverdampfer

Greifswald, Univ., Diss. A, 1990

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Reimer, Bärbel (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1990
Schlagworte:	Hochschulschrift
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