CMS-Cu/Ni/Au Metallisierung auf AlN-Substraten

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Bogenschütz, August Friedrich CMS-Metallisierung von Aluminiumnitridkeramik für die Aufbau- und Verbindungstechnik
Weitere Verfasser: Feil, M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: 1991
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Titel Jahr Verfasser
Keramiktechnologie des Aluminiumnitrids 1991 Brunner, D.
CMS-Cu/Ni/Au Metallisierung auf AlN-Substraten 1991
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