CMS-Cu/Ni/Au Metallisierung auf AlN-Substraten
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Bogenschütz, August Friedrich CMS-Metallisierung von Aluminiumnitridkeramik für die Aufbau- und Verbindungstechnik |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
1991
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