Papers from the 6th AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces [21 - 23 March 2005, Santa Clara, California]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Conference on Microelectronics and Interfaces (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Rogers, Bridget R. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York 2005
Schriftenreihe:Journal of vacuum science and technology / B 23,5
Schlagworte:
Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:A 13, L 15 S., S. 1849 - 2260
Ill., graph. Darst.